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電子/電子級(jí)化學(xué)品用水需求

     電子級(jí)用水主要應(yīng)用于微電子、多晶硅、電子級(jí)化學(xué)品、真空鍍膜等行業(yè)。用水需求的主要特點(diǎn)是對(duì)金屬離子及類(lèi)金屬離子水中剩余量控制要求極高，一般為PPB級(jí)別，更高要求為PPT級(jí)別。對(duì)顆粒含量要求嚴(yán)格，一般要求顆粒度＞0.45μm（pcs./mL） 的要控制在1-3。對(duì)產(chǎn)水TOC指標(biāo)一般要求TOC（ppb）25℃ 要小于50，更高要求要控制TOC（ppt）25℃ 小于500。

（說(shuō)明：PPB是表示液體濃度的一種單位符號(hào)，一般讀作1/10億 ；PPT則表達(dá)為10的負(fù)12次方。）

濕式電子化學(xué)品用超純水 質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

濕式電子化學(xué)品用超純水典型工藝流程（G5)

濕式電子化學(xué)品用超純水典型工藝流程（G4)

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